Thermal Properties of SiN, DLC and Diamond Membranes

Type de document :
Communication dans un congrès
Diamond 2010, Sep 2010, Budapest, Hungary
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https://hal-ujm.archives-ouvertes.fr/ujm-00549339
Contributeur : Florence Garrelie <>
Soumis le : mardi 21 décembre 2010 - 17:25:10
Dernière modification le : mercredi 25 juillet 2018 - 14:05:31

Identifiants

  • HAL Id : ujm-00549339, version 1

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Citation

Aurélien Sikora, Florence Garrelie, A.-S. Loir, Jacques Richard, David Eon, et al.. Thermal Properties of SiN, DLC and Diamond Membranes. Diamond 2010, Sep 2010, Budapest, Hungary. 〈ujm-00549339〉

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