Thermal Properties of SiN, DLC and Diamond Membranes

Aurélien Sikora 1 Florence Garrelie 1 A.-S. Loir 1 Jacques Richard 2 David Eon 3 Clément Hébert 3 Franck Omnès 3 Christophe Donnet 1 Olivier Bourgeois 2
1 LHC - Laboratoire Hubert Curien [Saint Etienne]
2 TPS - Thermodynamique et biophysique des petits systèmes
NEEL - Institut Néel
3 SC2G - Semi-conducteurs à large bande interdite
NEEL - Institut Néel
Document type :
Conference papers
Complete list of metadatas
https://hal-ujm.archives-ouvertes.fr/ujm-00549339
Contributor : Florence Garrelie <>
Submitted on : Tuesday, December 21, 2010 - 5:25:10 PM
Last modification on : Wednesday, February 13, 2019 - 10:06:08 AM

Identifiers

  • HAL Id : ujm-00549339, version 1

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UNIV-ST-ETIENNE | LAHC | NEEL | UGA | IOGS | PARISTECH

Citation

Aurélien Sikora, Florence Garrelie, A.-S. Loir, Jacques Richard, David Eon, et al.. Thermal Properties of SiN, DLC and Diamond Membranes. Diamond 2010, Sep 2010, Budapest, Hungary. ⟨ujm-00549339⟩

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