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Université Jean Monnet – Saint-Etienne |  |
Conference papers
Thermal Properties of SiN, DLC and Diamond Membranes
Aurélien Sikora
1
Florence Garrelie
1
A.-S. Loir
1
Jacques Richard
2
David Eon
3
Clément Hébert
3
Franck Omnès
3
Christophe Donnet
1
Olivier Bourgeois
2
2
TPS [2007-2015] - Thermodynamique et biophysique des petits systèmes [2007-2015]
NEEL [2007-2015] - Institut Néel [2007-2015]
3
SC2G [2007-2015] - Semi-conducteurs à large bande interdite [2007-2015]
NEEL [2007-2015] - Institut Néel [2007-2015]
Aurélien Sikora 1
Author
Florence Garrelie 1
Author
A.-S. Loir 1
Author IdHAL : loiranne ORCID : https://orcid.org/0000-0001-9169-1545
Jacques Richard 2
Author
Olivier Bourgeois 2
Author
1
LHC - Laboratoire Hubert Curien [Saint Etienne] (18 rue du Professeur Lauras 42000 SAINT-ETIENNE - France)
- UJM - Université Jean Monnet [Saint-Étienne] (10 rue Tréfilerie - 42100 Saint-Étienne - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR5516 (France)
- IOGS - Institut d'Optique Graduate School (2 avenue Augustin Fresnel, 91127 Palaiseau Cedex - France)
2
TPS [2007-2015] - Thermodynamique et biophysique des petits systèmes [2007-2015] (Institut NEEL, 25 rue des Martyrs, BP 166,
38042 Grenoble cedex 9 - France)
- NEEL [2007-2015] - Institut Néel [2007-2015] (Institut NEEL, 25 rue des Martyrs, BP 166,
38042 Grenoble cedex 9 - France)
- UJF - Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (BP 53 - 38041 Grenoble Cedex 9 - France)
- Grenoble INP [2007-2019] - Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology [2007-2019] (46 avenue Félix Viallet 38031 Grenoble Cedex 1 - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UPR2940 (France)
3
SC2G [2007-2015] - Semi-conducteurs à large bande interdite [2007-2015] (Institut NEEL, 25 rue des Martyrs, BP 166,
38042 Grenoble cedex 9 - France)
- NEEL [2007-2015] - Institut Néel [2007-2015] (Institut NEEL, 25 rue des Martyrs, BP 166,
38042 Grenoble cedex 9 - France)
- UJF - Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (BP 53 - 38041 Grenoble Cedex 9 - France)
- Grenoble INP [2007-2019] - Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology [2007-2019] (46 avenue Félix Viallet 38031 Grenoble Cedex 1 - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UPR2940 (France)
Document type :
Conference papers
Domain :
Complete list of metadatas
https://hal-ujm.archives-ouvertes.fr/ujm-00549339
Contributor : Florence Garrelie <>
Submitted on : Tuesday, December 21, 2010 - 5:25:10 PM
Last modification on : Wednesday, September 30, 2020 - 9:44:05 AM
Contributor : Florence Garrelie <>
Submitted on : Tuesday, December 21, 2010 - 5:25:10 PM
Last modification on : Wednesday, September 30, 2020 - 9:44:05 AM
Identifiers
- HAL Id : ujm-00549339, version 1
Citation
Aurélien Sikora, Florence Garrelie, A.-S. Loir, Jacques Richard, David Eon, et al.. Thermal Properties of SiN, DLC and Diamond Membranes. Diamond 2010, Sep 2010, Budapest, Hungary. ⟨ujm-00549339⟩
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