Thermal Properties of SiN, DLC and Diamond Membranes
Aurélien Sikora
(1)
,
Florence Garrelie
(1)
,
A.-S. Loir
(1)
,
Jacques Richard
(2)
,
David Eon
(3)
,
Clément Hébert
(3)
,
Franck Omnès
(3)
,
Christophe Donnet
(1)
,
Olivier Bourgeois
(2)
Florence Garrelie
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A.-S. Loir
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Olivier Bourgeois
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