Thermal Properties of SiN, DLC and Diamond Membranes

Aurélien Sikora (1) , Florence Garrelie (1) , A.-S. Loir (1) , Jacques Richard (2) , David Eon (3) , Clément Hébert (3) , Franck Omnès (3) , Christophe Donnet (1) , Olivier Bourgeois (2)

1 LHC - Laboratoire Hubert Curien
2 NEEL - TPS - Thermodynamique et biophysique des petits systèmes
3 NEEL - SC2G - Semi-conducteurs à large bande interdite

Domaines: Optique / photonique

Aurélien Sikora, Florence Garrelie, A.-S. Loir, Jacques Richard, David Eon, et al.. Thermal Properties of SiN, DLC and Diamond Membranes. Diamond 2010, Sep 2010, Budapest, Hungary. ⟨ujm-00549339⟩