Couches sol-gel fonctionnalisées photogravables par lithographie optique

Loic Berthod 1, 2 V. Gâté 1, 2 Michel Langlet 2 Yves Jourlin 1, * Francis Vocanson 1 C. Veillas 1 Isabelle Verrier 1 O. Dellea 3
* Corresponding author
1 LHC - Laboratoire Hubert Curien [Saint Etienne]
2 LMGP - Laboratoire des matériaux et du génie physique
3 LITEN - Laboratoire d'Innovation pour les Technologies des Energies Nouvelles et les nanomatériaux
Document type :
Conference papers
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https://hal-ujm.archives-ouvertes.fr/ujm-00990689
Contributor : Francis Vocanson <>
Submitted on : Tuesday, May 13, 2014 - 7:06:08 PM
Last modification on : Monday, July 8, 2019 - 11:26:03 AM

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  • HAL Id : ujm-00990689, version 1

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Loic Berthod, V. Gâté, Michel Langlet, Yves Jourlin, Francis Vocanson, et al.. Couches sol-gel fonctionnalisées photogravables par lithographie optique. 10ème journée Sol-Gel Rhône-Alpes Auvergne (JSGRAA10), Apr 2014, Saint-Etienne, France. ⟨ujm-00990689⟩

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