Couches sol-gel fonctionnalisées photogravables par lithographie optique

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Contributor : Francis Vocanson <>
Submitted on : Tuesday, May 13, 2014 - 7:06:08 PM
Last modification on : Monday, July 8, 2019 - 11:26:03 AM

Identifiers

  • HAL Id : ujm-00990689, version 1

Citation

Loic Berthod, V. Gâté, Michel Langlet, Yves Jourlin, Francis Vocanson, et al.. Couches sol-gel fonctionnalisées photogravables par lithographie optique. 10ème journée Sol-Gel Rhône-Alpes Auvergne (JSGRAA10), Apr 2014, Saint-Etienne, France. ⟨ujm-00990689⟩

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