Couches sol-gel fonctionnalisées photogravables par lithographie optique

Loic Berthod 1, 2 V. Gâté 1, 2 Michel Langlet 2 Yves Jourlin 1, * Francis Vocanson 1 C. Veillas 1 Isabelle Verrier 1 O. Dellea 3
* Auteur correspondant
1 LHC - Laboratoire Hubert Curien [Saint Etienne]
2 LMGP - Laboratoire des matériaux et du génie physique
3 LITEN - Laboratoire d'Innovation pour les Technologies des Energies Nouvelles et les nanomatériaux
Type de document :
Communication dans un congrès
10ème journée Sol-Gel Rhône-Alpes Auvergne (JSGRAA10), Apr 2014, Saint-Etienne, France
Liste complète des métadonnées
https://hal-ujm.archives-ouvertes.fr/ujm-00990689
Contributeur : Francis Vocanson <>
Soumis le : mardi 13 mai 2014 - 19:06:08
Dernière modification le : lundi 26 mars 2018 - 09:00:02

Identifiants

  • HAL Id : ujm-00990689, version 1

Collections

UNIV-ST-ETIENNE | CEA | LAHC | UGA | LMGP | INC-CNRS | DRT | LITEN

Citation

Loic Berthod, V. Gâté, Michel Langlet, Yves Jourlin, Francis Vocanson, et al.. Couches sol-gel fonctionnalisées photogravables par lithographie optique. 10ème journée Sol-Gel Rhône-Alpes Auvergne (JSGRAA10), Apr 2014, Saint-Etienne, France. 〈ujm-00990689〉

Exporter

BibTeX TEI DC DCterms EndNote

Partager

Métriques

Consultations de la notice

103

Contact

support.ccsd.cnrs.fr
hal.support@ccsd.cnrs.fr
Logo CCSD