Couches sol-gel fonctionnalisées photogravables par lithographie optique

Type de document :
Communication dans un congrès
10ème journée Sol-Gel Rhône-Alpes Auvergne (JSGRAA10), Apr 2014, Saint-Etienne, France
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Contributeur : Francis Vocanson <>
Soumis le : mardi 13 mai 2014 - 19:06:08
Dernière modification le : lundi 26 mars 2018 - 09:00:02

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  • HAL Id : ujm-00990689, version 1

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Citation

Loic Berthod, V. Gâté, Michel Langlet, Yves Jourlin, Francis Vocanson, et al.. Couches sol-gel fonctionnalisées photogravables par lithographie optique. 10ème journée Sol-Gel Rhône-Alpes Auvergne (JSGRAA10), Apr 2014, Saint-Etienne, France. 〈ujm-00990689〉

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