Cost effective and large area process for the functionalization and surface micro-structuring using photo-patternable TiO2 sol-gel process and colloidal photolithography

Loic Berthod; Olga Shavdina; Francis Vocanson; Michel Langlet; O. Dellea; C. Veillas; S Reynaud; I. Verrier; Yves Jourlin

Cost effective and large area process for the functionalization and surface micro-structuring using photo-patternable TiO2 sol-gel process and colloidal photolithography

Loic Berthod ^{1, 2} Olga Shavdina ^{1, 3} Francis Vocanson ¹ Michel Langlet ² O. Dellea ³ C. Veillas ¹ S Reynaud ¹ I. Verrier ⁴ Yves Jourlin ^{1, *}

* Auteur correspondant

1 LHC - Laboratoire Hubert Curien [Saint Etienne]

2 LMGP - Laboratoire des matériaux et du génie physique

3 LITEN - Laboratoire d'Innovation pour les Technologies des Energies Nouvelles et les nanomatériaux

4 Laboratoire Hubert Curien / Eris

LHC - Laboratoire Hubert Curien [Saint Etienne]

Type de document :

Communication dans un congrès

2016 PHOTONICS EUROPE (SPIE), Apr 2016, BRUXELLES, Belgium

Domaine :

Chimie / Matériaux

Physique [physics] / Physique [physics] / Optique [physics.optics]

Liste complète des métadonnées

https://hal-ujm.archives-ouvertes.fr/ujm-01301967
Contributeur : Francis Vocanson <>
Soumis le : mercredi 13 avril 2016 - 13:21:19
Dernière modification le : jeudi 26 juillet 2018 - 01:10:44

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