Deep‐UV lithography of nanocomposite thin films into magnetooptical gratings with submicron periodicity

Clémentine Bidaud; Dominique Berling; Emilie Gamet; D. Jamon; Loïc Vidal; Sophie Neveu; O. Soppera; Francois Royer

doi:10.1002/cptc.202000048

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Deep‐UV lithography of nanocomposite thin films into magnetooptical gratings with submicron periodicity

Clémentine Bidaud ¹ Dominique Berling ¹ Emilie Gamet ² D. Jamon ² Loïc Vidal ³ Sophie Neveu ⁴ O. Soppera ¹ Francois Royer ²

1 IS2M - Institut de Science des Matériaux de Mulhouse

2 LHC - Laboratoire Hubert Curien [Saint Etienne]

3 ICSI - Institut de Chimie des Sufaces et Interfaces

4 PHENIX - PHysicochimie des Electrolytes et Nanosystèmes InterfaciauX

Clémentine Bidaud ¹
Author

Dominique Berling ¹
Author
PersonId : 838836

Emilie Gamet ²
Author

D. Jamon ²
Author
PersonId : 10027
IdHAL : damien-jamonORCID : 0000-0001-5218-0793IdRef : 122878108

Loïc Vidal ³
Author

Sophie Neveu ⁴
Author

O. Soppera ¹
Author

Francois Royer ²
Author
PersonId : 10023
IdHAL : francois-royerORCID : 0000-0002-0632-7915IdRef : 081954662

1 IS2M - Institut de Science des Matériaux de Mulhouse (15 rue Jean Starcky BP 2488 68057 MULHOUSE CEDEX 2 - France) StructId : 505910

Université de Haute-Alsace (UHA) - Université de Haute-Alsace (UHA) Mulhouse - Colmar (2, rue des Frères Lumière F-68093 Mulhouse Cedex - France) StructId : 237692
INC - Institut de Chimie du CNRS (3 Rue Michel-Ange 75 016 Paris - France) StructId : 341038
CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR7361 (France) StructId : 441569
FMNGE - Matériaux et nanosciences d'Alsace (France) StructId : 529627
- UNISTRA - Université de Strasbourg : FR3627 (4 rue Blaise Pascal - CS 90032 - 67081 Strasbourg cedex - France) StructId : 199013
- Université de Haute-Alsace (UHA) - Université de Haute-Alsace (UHA) Mulhouse - Colmar (2, rue des Frères Lumière F-68093 Mulhouse Cedex - France) StructId : 237692
- INSERM - Institut National de la Santé et de la Recherche Médicale (101, rue de Tolbiac, 75013 Paris - France) StructId : 303623
- INC - Institut de Chimie du CNRS (3 Rue Michel-Ange 75 016 Paris - France) StructId : 341038
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : FR3627 (France) StructId : 441569
Réseau nanophotonique et optique (France) StructId : 529628
- UNISTRA - Université de Strasbourg : FR3678 (4 rue Blaise Pascal - CS 90032 - 67081 Strasbourg cedex - France) StructId : 199013
- Université de Haute-Alsace (UHA) - Université de Haute-Alsace (UHA) Mulhouse - Colmar (2, rue des Frères Lumière F-68093 Mulhouse Cedex - France) StructId : 237692
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique (France) StructId : 441569

2 LHC - Laboratoire Hubert Curien [Saint Etienne] (18 rue du Professeur Lauras 42000 SAINT-ETIENNE - France) StructId : 17835

IOGS - Institut d'Optique Graduate School (2 avenue Augustin Fresnel, 91127 Palaiseau Cedex - France) StructId : 300036
UJM - Université Jean Monnet [Saint-Étienne] (10 rue Tréfilerie - 42100 Saint-Étienne - France) StructId : 300284
CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR5516 (France) StructId : 441569

3 ICSI - Institut de Chimie des Sufaces et Interfaces (15 rue Jean Starcky 68057 Mulhouse Cedex - France) StructId : 47448

CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UPR9069 (France) StructId : 441569

4 PHENIX - PHysicochimie des Electrolytes et Nanosystèmes InterfaciauX (Université Pierre et Marie Curie, Case Courrier 51 4 place Jussieu -- 72522 Paris Cedex 5, FRANCE - France) StructId : 247182

UPMC - Université Pierre et Marie Curie - Paris 6 (4 place Jussieu - 75005 Paris - France) StructId : 93591
ESPCI Paris - Ecole Superieure de Physique et de Chimie Industrielles de la Ville de Paris (10 rue Vauquelin, 75231 Paris cedex 05 - France) StructId : 301585
- PSL - Université Paris sciences et lettres (60 rue Mazarine 75006 Paris - France) StructId : 564132
INC - Institut de Chimie du CNRS (3 Rue Michel-Ange 75 016 Paris - France) StructId : 341038
CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR8234 (France) StructId : 441569

Document type :

Journal articles

Domain :

Chemical Sciences

Physics [physics]

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https://hal-ujm.archives-ouvertes.fr/ujm-02899691
Contributor : Damien Jamon Connect in order to contact the contributor
Submitted on : Tuesday, November 17, 2020 - 4:29:35 PM
Last modification on : Thursday, November 10, 2022 - 4:35:07 AM
Long-term archiving on: : Thursday, February 18, 2021 - 8:03:46 PM

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DOI : 10.1002/cptc.202000048

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Clémentine Bidaud, Dominique Berling, Emilie Gamet, D. Jamon, Loïc Vidal, et al.. Deep‐UV lithography of nanocomposite thin films into magnetooptical gratings with submicron periodicity. ChemPhotoChem, 2020, ⟨10.1002/cptc.202000048⟩. ⟨ujm-02899691⟩

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