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Université Jean Monnet – Saint-Etienne |  |
Journal articles
Deep‐UV lithography of nanocomposite thin films into magnetooptical gratings with submicron periodicity
Clémentine Bidaud
1
Dominique Berling
1
Emilie Gamet
2
D. Jamon
2
Loïc Vidal
3
Sophie Neveu
4
O. Soppera
1
Francois Royer
2
Clémentine Bidaud 1
Author
Dominique Berling 1
Author
Emilie Gamet 2
Author
D. Jamon 2
Author IdHAL : damien-jamon ORCID : https://orcid.org/0000-0001-5218-0793
Loïc Vidal 3
Author
Sophie Neveu 4
Author
O. Soppera 1
Author
Francois Royer 2
Author IdHAL : francois-royer ORCID : https://orcid.org/0000-0002-0632-7915
1
IS2M - Institut de Science des Matériaux de Mulhouse (15 rue Jean Starcky BP 2488 68057 MULHOUSE CEDEX 2 - France)
- Université de Haute-Alsace (UHA) - Université de Haute-Alsace (UHA) Mulhouse - Colmar (2, rue des Frères Lumière F-68093 Mulhouse Cedex - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR7361 (France)
- Matériaux et nanosciences d'Alsace (France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique (France)
- INSERM - Institut National de la Santé et de la Recherche Médicale (101, rue de Tolbiac, 75013 Paris - France)
- Université de Haute-Alsace (UHA) - Université de Haute-Alsace (UHA) Mulhouse - Colmar (2, rue des Frères Lumière F-68093 Mulhouse Cedex - France)
- UNISTRA - Université de Strasbourg : FR3627 (4 rue Blaise Pascal - CS 90032 - 67081 Strasbourg cedex - France)
- Réseau nanophotonique et optique (France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique (France)
- UNISTRA - Université de Strasbourg : FR3678 (4 rue Blaise Pascal - CS 90032 - 67081 Strasbourg cedex - France)
- Université de Haute-Alsace (UHA) - Université de Haute-Alsace (UHA) Mulhouse - Colmar (2, rue des Frères Lumière F-68093 Mulhouse Cedex - France)
2
LHC - Laboratoire Hubert Curien [Saint Etienne] (18 rue du Professeur Lauras 42000 SAINT-ETIENNE - France)
- UJM - Université Jean Monnet [Saint-Étienne] (10 rue Tréfilerie - 42100 Saint-Étienne - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR5516 (France)
- IOGS - Institut d'Optique Graduate School (2 avenue Augustin Fresnel, 91127 Palaiseau Cedex - France)
3
ICSI - Institut de Chimie des Sufaces et Interfaces (15 rue Jean Starcky 68057 Mulhouse Cedex - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UPR9069 (France)
4
PHENIX - PHysicochimie des Electrolytes et Nanosystèmes InterfaciauX (Université Pierre et Marie Curie, Case Courrier 51 4 place Jussieu -- 72522 Paris Cedex 5, FRANCE - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR8234 (France)
- ESPCI Paris - Ecole Superieure de Physique et de Chimie Industrielles de la Ville de Paris (10 rue Vauquelin, 75231 Paris cedex 05 - France)
- PSL - Université Paris sciences et lettres (60 rue Mazarine 75006 Paris - France)
- UPMC - Université Pierre et Marie Curie - Paris 6 (4 place Jussieu - 75005 Paris - France)
Document type :
Journal articles
Domain :
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https://hal-ujm.archives-ouvertes.fr/ujm-02899691
Contributor : Damien Jamon <>
Submitted on : Tuesday, November 17, 2020 - 4:29:35 PM
Last modification on : Friday, December 11, 2020 - 6:14:57 PM
Contributor : Damien Jamon <>
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Last modification on : Friday, December 11, 2020 - 6:14:57 PM
File
ChemPhotoChem Accepté Site(Be...
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Identifiers
- HAL Id : ujm-02899691, version 1
- DOI : 10.1002/cptc.202000048
Collections
PHENIX | UDL | SORBONNE-UNIVERSITE | SITE-ALSACE | PSL | ESPCI-PSL | INC-CNRS | PARISTECH | CNRS | ESPCI | IOGS | UNIV-ST-ETIENNE | SU-TI
Citation
Clémentine Bidaud, Dominique Berling, Emilie Gamet, D. Jamon, Loïc Vidal, et al.. Deep‐UV lithography of nanocomposite thin films into magnetooptical gratings with submicron periodicity. ChemPhotoChem, Wiley, 2020, ⟨10.1002/cptc.202000048⟩. ⟨ujm-02899691⟩
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