TiN thin film made by nitridation of TiO2 sol-gel layer and rapid thermal nitridation process (RTN).
Arnaud Valour
(1)
,
Maria Alejandra Usuga Higuita
(1)
,
Nicolas Crespo-Monteiro
(1)
,
Francis Vocanson
(1)
,
D. Jamon
(1)
,
Stéphanie Reynaud
(1)
,
Christophe Donnet
(1)
,
M. Langlet
(2)
,
Yves Jourlin
(1)
Francis Vocanson
- Fonction : Auteur
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D. Jamon
- Fonction : Auteur
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Christophe Donnet
- Fonction : Auteur
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M. Langlet
- Fonction : Auteur
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- IdHAL : michel-langlet
Yves Jourlin
- Fonction : Auteur
- PersonId : 852214
- ORCID : 0000-0002-7935-2150
- IdRef : 060278218